Dienstleistungen

Im Bereich der Präzisionsoptiken stellt ZYGO plane, asphärische und sphärische Oberflächen von Weltklasse sowie präzisionsgefräste Strukturen her.

Unser Team für Präzisionsoptiken verfügt über mehr als 20 Ingenieure mit enormer Erfahrung. Ihre Projekterfahrung reicht von asphärischen Optiken, welche zur Reparatur des Hubble-Weltraumteleskops eingesetzt wurden, bis zur Entwicklung von EUV-Optiken mit Präzision im Sub-Nanometerbereich zur Verwendung bei den derzeit anspruchsvollsten Lithografiesystemen. Egal, ob wir für Sie eine Leistungsbeschreibung entwickeln, einen Prototyp konstruieren oder eine Überarbeitung zur Leistungsverbesserung vornehmen sollen, ZYGO ist bereit für Ihre anspruchsvollsten Probleme im Bereich der Optik.

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Asphärische & Freiformoberflächen

Freiformoptiken
  • Größen bis 500 mm
  • Materialien: ZERODUR®, ULE®, Glas, Keramik, Si, CaF2
  • Genauigkeit bis λ/5.000 RMS bei 633 nm
  • Achsenversetzte Spiegel ohne übergeordnete Fertigung
  • Technologien:
    • Computergesteuerte optische Beschichtung
    • Ionenstrahl-Formgebung
    • Präzise Optik- & CMM-Messtechnik

Computergesteuerte optische Beschichtung

Computergesteuerte optische Beschichtung

  • Asphären & Präzisionssphären, -flächen und -zylinder
  • Bis zu 1 nm RMS für Oberflächenmerkmale und 0,2 nm RMS für Oberflächenrauheit (Glas)
  • Konfigurierbar für Glas, CaF2, ZERODUR®, ULE®, SiC, Si und weitere Materialien sowie eine Vielzahl von Teilegeometrien
  • Skalierbar für Optiken über 1,5 Meter
  • Nutzung der urheberrechtlich geschützten Technologie der computergesteuerten optischen Beschichtung (CCOS)

Super Finishing / Super Polishing

Die Feinstbearbeitung von Oberflächen ist oftmals für Anwendungen erforderlich, bei denen die Verringerung der Lichtstreuung wichtig ist, damit das Licht ungehindert durch die Oberfläche der Optik dringen kann. Super Finishing von ZYGO (auch bekannt als Super Polishing) ist ein Verfahren, das glatte Oberflächen über eine größere spektrale Leistungsdichte (PSD) auf Materialien wie Quarzglas, Saphir, YAG usw. erzeugt. Unser einzigartiges Verfahren erzeugt eine Oberflächenrauheit von < 1 Angstrom (< 0.1 nm), over spatial periods ranging from 10 nm to 1 mm. >

Ionenstrahl-Formgebung (IBF)

Diese urheberrechtlich geschützte Technologie wendet einen Argon-Ionenstrahl in einem Vakuum an, um asphärische, sphärische und flache optische Oberflächen lokal zu „polieren“. Dabei werden die Daten aus den optischen Messungen mit der CCOS-Software gekoppelt, um Oberflächenfehler lokal zu korrigieren.

IBF bietet wesentliche Vorteile:

Spektrale Leistungsdichte im Feinstbearbeitungsprozess
  • Erkennung von Oberflächenmerkmalen von weniger als 0,25 nm RMS (λ/2500 bei 633 nm)
  • Unempfindlichkeit an Kantengrenzschicht
  • Messung von delikaten und/oder einfach verformbaren Oberflächen wie ultraleichte Substrate (kein Durchdruck)
  • Anwendung auf Oberflächengeometrien, die für konventionelle Polierwerkzeuge nicht zugänglich sind
  • Für eine Vielzahl von Materialien wie ZERODUR®, ULE®, Glas, Keramik, Si und CaF2
  • Kein Zerkratzen der Oberflächen

Präzise Glasbearbeitung

  • 5-achsige Ultraschall-CNC-Bearbeitung von Glas- und Keramikmaterialien; 3- bis 5-mal schneller als traditionelles CNC
  • Konventionelle 3- und 4-achsige CNC-Glasbearbeitung
  • Nachbearbeitung durch Flusssäure-Ätzen
  • Toleranzen von typischerweise 5 µm; 2 µm beim nachträglichen Säureätzen von wichtigen Merkmalen
  • Größen bis 750 mm
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