Spiegel

Präzisionsspiegel

ZYGO stellt optische Präzisionsspiegel mittels streng kontrollierter Fertigungsprozesse her, weshalb diese in einer Vielzahl von extremen Umgebungen zuverlässig funktionieren. Unsere Spiegel finden Sie unter Wasser, in Wüsten, in großen Höhen und auch im Orbit der Erde. Wir passen jeden Spiegel an Ihre Anforderungen an und übertreffen sie sogar.

Für Anwendungen, bei denen das Gewicht von zentraler Bedeutung ist, wie etwa Raumfahrtanwendungen, können die Spiegel zudem in Leichtbauweise gefertigt werden.  Light-Weighting ist ein Prozess, bei dem Material einer optischen Komponente mittels Fräsen oder anderer Methoden entfernt und gleichzeitig die optische Leistung des Spiegels bewahrt wird.

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Hauptmerkmale

  • Geometrien (Flächen, Sphären, Asphären) von λ/50 PV und besser.
  • Interferometrie mit vollständiger Apertur bis 32" für Flächen und bis 12" für Sphären/Asphären (größer mit Bildzusammenführung).
  • Oberflächenrauheit < 1 nm rms.i>

Anwendungen

ZYGO blickt auf eine lange Tradition in der Fertigung von optischen Spiegeln als Sonderanfertigung für eine Vielzahl von Anwendungen zurück. Dazu gehören u. a.:

  • EUV-Spiegel
  • Leichte Spiegel
  • Weltraumspiegel
  • Positioniererkomponenten für lithografische Stepper
  • Röntgenspiegel
  • Spiegel für die Verteidigung/Luft- und Raumfahrt
  • Medizin/Biowissenschaften
  • Spiegel für industrielle OEMs
  • Intelligence, Surveillance, and Reconnaissance (ISR)
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