Servosteuerung für Positionierer

Mit über 30 Jahren Erfahrung sind die Sensorenprodukte für die Nanopositionierung von ZYGO zu einigen der bewährtesten Produkte geworden, die kontinuierlichen Betrieb mit herausragender Performance bieten. ZYGO ist der Marktführer für Interferometer für Verschiebungsmessungen, welche Feedback für geschlossene Servosteuerungen auf OEM-Basis liefern. Fertigungs- und Prozesskontrollwerkzeuge innerhalb der Produktion für Halbleiter und Flachbildschirme verlassen sich heute auf Sensoren von ZYGO, um die Präzision und Zuverlässigkeit zu liefern, die für die Massenfertigung benötigt wird.

Unsere ZMI™-Interferometer für Verschiebungsmessungen werden eingesetzt, um die relative Bewegung von Fadenkreuzen/Masken und Wafer-Tischen in diesen Systemen im Nanometerbereich zu messen. Unsere modularisierten Komponenten können so konfiguriert werden, dass sie sämtliche erforderlichen Freiheitsgrade für Ihre speziellen Anwendungen bieten, um eine erfolgreiche Bewegungskontrolle im Nanometerbereich sicherzustellen. ZMI™-Systeme können für die Messung von 64 Verschiebungsachsen konfiguriert werden, vollständig synchronisiert im Nanosekundenbereich, wodurch eine vollständig synchrone Messung über alle Achsen hinweg ermöglicht wird.

Als Ihr Partner bei der Bewegungssteuerung können Sie sich darauf verlassen, dass ZYGO Ihnen zur Seite steht, um Ihre fortlaufenden Systemverbesserungen zu unterstützen und Ihnen den Weg für Ihre Anforderungen der nächsten Generation zu ebenen.