Messelektronik

ZMI™-Serie – Interferometer für Verschiebungsmessungen

ZMI-Messelektronikplatine

Die ZMI™-Messelektronik berechnet die Verschiebung mittels optischer Signale von den Interferometern, welche durch eine ZMI™-Laserquelle erzeugt werden.

Das ZMI™ 501A bietet zwei Messachsen in einem bequemen, eigenständigen Gehäuse.

Die Platinen der ZMI™ 2400-, 4000- und 4100-Serien bieten Auflösungen im Sub-Nanometerbereich für anspruchsvollste Positionsmessungsanwendungen. Diese Platinen lassen sich modular zu einem VME-Chassis hinzufügen, für eine Skalierbarkeit mit bis zu 64 Messachsen.

Für höchste Messpräzision eliminiert unsere patentierte Option für die Verringerung von zyklischen Fehlern automatisch und problemlos häufige nicht-lineare Fehler, welche für DMI-Systeme intrinsisch sind.

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Modell: 501A 2400 4004 4104(C)
Anzahl der Achsen/Karte: 2 1 oder 2 4
Kartentyp: Gehäuse 6U VME 6U VME64x
Minimale optische Leistung: 8,0 µW 1,9 µW 1,0 µW 0,07 µW
Positionsauflösung: 1,24 nm 0,31 nm 0,15 nm
Höchstgeschwindigkeit: ±0,475 m/s ±2,1 m/s ±2,55 m/s
Genauigkeit bei Höchstgeschwindigkeit (σ): 1,6 nm 0,5 nm 0,2 nm
Kompensation von zyklischen Fehlern: Keine Ja
Kompatible Laser: 7705 7702, 7714 und 7724
  Hinweis: Die Spezifikationen beziehen sich auf Doppel-Pass Interferometer.
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Nano-Position Sensors
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Messplatine ZMI 2400
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Messplatine ZMI 4004
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Messplatine ZMI 4104
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Gehäuse ZMI 501A
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Nano-Position Sensors
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Messplatine ZMI 2400
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Messplatine ZMI 4004
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Gehäuse ZMI 501A
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Messplatine der ZMI™ 2400-Serie
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Messplatine der ZMI™ 4000-Serie
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Messplatine der ZMI™ 4100-Serie
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ZMI™ 501A Interferometer-System für Verschiebungsmessungen
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Messplatine der ZMI™ 2400-Serie
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Messplatine der ZMI™ 4000-Serie
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Messplatine der ZMI™ 4100-Serie
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ZMI™ 501A Interferometer-System für Verschiebungsmessungen
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