Messelektronik
ZMI™-Serie – Interferometer für Verschiebungsmessungen
Die ZMI™-Messelektronik berechnet die Verschiebung mittels optischer Signale von den Interferometern, welche durch eine ZMI™-Laserquelle erzeugt werden.
Das ZMI™ 501A bietet zwei Messachsen in einem bequemen, eigenständigen Gehäuse.
Die Platinen der ZMI™ 2400-, 4000- und 4100-Serien bieten Auflösungen im Sub-Nanometerbereich für anspruchsvollste Positionsmessungsanwendungen. Diese Platinen lassen sich modular zu einem VME-Chassis hinzufügen, für eine Skalierbarkeit mit bis zu 64 Messachsen.
Für höchste Messpräzision eliminiert unsere patentierte Option für die Verringerung von zyklischen Fehlern automatisch und problemlos häufige nicht-lineare Fehler, welche für DMI-Systeme intrinsisch sind.
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WEITERE INFORMATIONEN
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BROSCHÜREN &
DATENBLÄTTER -
HANDBÜCHER
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| Modell: | 501A | 2400 | 4004 | 4104(C) |
| Anzahl der Achsen/Karte: | 2 | 1 oder 2 | 4 | |
| Kartentyp: | Gehäuse | 6U VME | 6U VME64x | |
| Minimale optische Leistung: | 8,0 µW | 1,9 µW | 1,0 µW | 0,07 µW |
| Positionsauflösung: | 1,24 nm | 0,31 nm | 0,15 nm | |
| Höchstgeschwindigkeit: | ±0,475 m/s | ±2,1 m/s | ±2,55 m/s | |
| Genauigkeit bei Höchstgeschwindigkeit (σ): | 1,6 nm | 0,5 nm | 0,2 nm | |
| Kompensation von zyklischen Fehlern: | Keine | Ja | ||
| Kompatible Laser: | 7705 | 7702, 7714 und 7724 | ||
| Hinweis: Die Spezifikationen beziehen sich auf Doppel-Pass Interferometer. | ||||
