Interferometer

ZMI™-Serie – Interferometer für Verschiebungsmessungen

Die standardmäßigen Interferometer-Konfigurationen von ZYGO unterstützen eine Vielzahl verschiedener Messszenarien. Die meisten Interferometer unterstützen eine Messausrichtung quer durch das Objekt oder im rechten Winkel zu diesem und können für den Einsatz im Vakuum gefertigt werden.

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Linear-Interferometer

Dieses Gerät misst Retroreflektorziele für das Verfolgen von Objekten, die sich primär in einer linearen Dimension bewegen oder sich um einen festen Punkt drehen. ZYGO bietet Linear-Interferometer in Standard- und Kompaktgröße, um unterschiedlichsten Platzanforderungen gerecht zu werden. Beispiele: Fadenkreuztisch, Portalsysteme, Lenkspiegel

Planspiegel-Interferometer

Dieses Gerät misst Planspiegelziele für das Verfolgen von Objekten, die sich in mehreren linearen Dimensionen mit begrenzter Rotation bewegen. Planspiegel-Interferometer von ZYGO wurden für eine hohe Stabilität entwickelt, um thermische Fehler zu mindern. Beispiele: Wafer-Tische, Stapeltischsysteme

Wellenlängenkompensator

Dieses Gerät misst die Veränderung des Brechungsindex zur Kompensation anderer Messachsen. Der kompakte Wellenlängenkompensator von ZYGO bietet ein hochpräzises Feedback der Indexveränderung für eine optimale Verschiebungsmessung unter verschiedensten Umgebungsbedingungen.

 

Zubehör

Vervollständigen Sie das Messsystem, indem Sie den Strahl vom Laser zu den Interferometern und letztlich zur Messelektronik leiten. ZYGO bietet eine Reihe von Standardspiegeln, Strahlteilern, Glasfaserabnehmern und Glasfaserkabeln für eine flexible Konfiguration Ihres Messsystems.

ZMI-Zubehör

Kundenspezifische Interferometer-Designs

ZYGO ist auf kundenspezifische mehrachsige Interferometer-Designs für OEM-Anwendungen spezialisiert. Kundenspezifische Designs ermöglichen eine konsolidierte Strahlbereitstellung für Anwendungen, bei denen der Platz begrenzt ist. Zusätzlich verkürzt dieses Design die Zeit zum Ausrichten des Systems, was für eine schnellere Integration während der Fertigung sorgt.

Mehrachsiges Spezial-Interferometer
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Nano-Position Sensors
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ZMI-Teleskop mit Strahlreduzierung
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ZMI-Strahlteiler 10 % 33 % 50 % 75 %
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ZMI Column Reference Interferometer (CRI), vakuumkompatibel
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ZMI Compact 3-achsiges HSPMI
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ZMI differentiales Planspiegel-Interferometer (DPMI)
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ZMI-Glasfaserabnehmer 9 mm
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ZMI-Glasfaserabnehmer 9 mm SS
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Nano-Position Sensors
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ZMI-Teleskop mit Strahlreduzierung
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ZMI-Strahlteiler 10 % 33 % 50 % 75 %
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ZMI Column Reference Interferometer (CRI), vakuumkompatibel
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ZMI Compact 3-achsiges HSPMI
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ZMI differentiales Planspiegel-Interferometer (DPMI)
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ZMI-Glasfaserabnehmer 9 mm
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ZMI-Glasfaserabnehmer 9 mm SS
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ZMI-Faltspiegel
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ZMI-Faltspiegel groß
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ZMI™ 501A Interferometer-System für Verschiebungsmessungen
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ZMI™-Kabelleitfaden
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ZMI™-Wellenlängenkompensator als Kompaktzubehör
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ZMI™ differentiales Planspiegel-Interferometer
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ZMI™-Optikleitfaden
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ZMI™ 501A Interferometer-System für Verschiebungsmessungen
DocumentOMP-0532B
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ZMI™-Kabelleitfaden
DocumentOMP-0333R
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ZMI™-Wellenlängenkompensator als Kompaktzubehör
DocumentOMP-0415F
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ZMI™ differentiales Planspiegel-Interferometer
DocumentOMP-0223E
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ZMI™-Optikleitfaden
DocumentOMP-0326AA
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Ein hochpräzises, glasfaserbasiertes Interferometer-System zur Verschiebungs-/Abstandsmessung mit mehreren Kanälen
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Ein neues Laser-Messsystem für Präzisionsmessungen
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
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Konzepte und Geometrien für die nächste Generation von heterodynen optischen Präzisions-Encodern
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Differentiale Interferometer-Anordnungen für Abstands- und Winkelmessungen: Prinzipien, Vorteile und Anwendungen
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Interferometrie für Verschiebungsmessungen (Buchkapital)
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Messunsicherheit bei der Interferometrie für Verschiebungsmessungen
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Interferometer für Verschiebungsmessungen liefern präzise Messungen
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Ein hochpräzises, glasfaserbasiertes Interferometer-System zur Verschiebungs-/Abstandsmessung mit mehreren Kanälen
DocumentTechnische Abhandlung
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Messunsicherheit bei der Interferometrie für Verschiebungsmessungen
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Interferometer für Verschiebungsmessungen liefern präzise Messungen
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Mit extremer Präzision abstufende Encoder
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Fehlerquellen bei der Interferometrie für Verschiebungsmessungen
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