Interferometer

Linear-Interferometer

Dieses Gerät misst Retroreflektorziele für das Verfolgen von Objekten, die sich primär in einer linearen Dimension bewegen oder sich um einen festen Punkt drehen. ZYGO bietet Linear-Interferometer in Standard- und Kompaktgröße, um unterschiedlichsten Platzanforderungen gerecht zu werden. Beispiele: Fadenkreuztisch, Portalsysteme, Lenkspiegel

Planspiegel-Interferometer

Dieses Gerät misst Planspiegelziele für das Verfolgen von Objekten, die sich in mehreren linearen Dimensionen mit begrenzter Rotation bewegen. Planspiegel-Interferometer von ZYGO wurden für eine hohe Stabilität entwickelt, um thermische Fehler zu mindern. Beispiele: Wafer-Tische, Stapeltischsysteme

Wellenlängenkompensator

Dieses Gerät misst die Veränderung des Brechungsindex zur Kompensation anderer Messachsen. Der kompakte Wellenlängenkompensator von ZYGO bietet ein hochpräzises Feedback der Indexveränderung für eine optimale Verschiebungsmessung unter verschiedensten Umgebungsbedingungen.

Zubehör

Vervollständigen Sie das Messsystem, indem Sie den Strahl vom Laser zu den Interferometern und letztlich zur Messelektronik leiten. ZYGO bietet eine Reihe von Standardspiegeln, Strahlteilern, Glasfaserabnehmern und Glasfaserkabeln für eine flexible Konfiguration Ihres Messsystems.

Kundenspezifische Interferometer-Designs

ZYGO ist auf kundenspezifische mehrachsige Interferometer-Designs für OEM-Anwendungen spezialisiert. Kundenspezifische Designs ermöglichen eine konsolidierte Strahlbereitstellung für Anwendungen, bei denen der Platz begrenzt ist. Zusätzlich verkürzt dieses Design die Zeit zum Ausrichten des Systems, was für eine schnellere Integration während der Fertigung sorgt.