Interferometer für Verschiebungsmessungen
Positionssensoren von ZYGO werden häufig bei Kontrollsystemen mit geschlossenem Regelkreis eingesetzt, hauptsächlich für Probentischsysteme für Lithografie und Prüfwerkzeuge. Wir sind seit über 30 Jahren Vorreiter bei Innovationen im Bereich Verschiebungs-Positionssensoren und wir arbeiten eng mit Anwendungsbereichen zusammen, welche höchste Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. Unser Team von Anwendungsspezialisten steht bereit, um Sie bei Ihren Anforderungen an die Positionsmessung zu unterstützen.
Laser
ZMI™-Laser bieten hochstabilisierte Leistung mit zwei Frequenzen als solide Grundlage für hochpräzise Positionsmesstechnik. Diese Laser basieren auf robuster Helium-Neon-Technologie mit hoher Zuverlässigkeit, welche als Standarddefinition des Messgeräts genutzt wird.
Interferometer
Die standardmäßigen Interferometer-Konfigurationen von ZYGO unterstützen eine Vielzahl verschiedener Messszenarien. Die meisten Interferometer unterstützen eine Messausrichtung quer durch das Objekt oder im rechten Winkel zu diesem und können für den Einsatz im Vakuum gefertigt werden.
Messelektronik
Die Messelektronik berechnet die Verschiebung mittels optischer Signale von den Interferometern, welche durch die Laserquelle erzeugt werden. Unsere patentierte Option für die Verringerung von zyklischen Fehlern eliminiert automatisch und problemlos häufige nicht-lineare Fehler, welche für DMI-Systeme intrinsisch sind.