Absolute Positions-Sensoren

Hochpräzise, berührungslose Messungen der Absolutposition auf bis zu 64 synchronisierten Kanälen

ZPS-SensorZYGOs ZPS™-System misst die Absolutposition mittels ultrakompakter optischer Sensoren, die sich leicht in Hochpräzisionsanwendungen wie etwa verformbare Spiegel und Linsenpositionierung integrieren lassen.

Das optische Sensorsystem bietet bis zu 64 synchronisierte Kanäle für die hochpräzise, berührungslose absolute Positionsmessung über einen Bereich von 1,2 mm. Die Messauflösung beträgt 0,01 nm bei einer Messstabilität von ≤ 1 nm/Tag.

Die optischen Sensoren erzeugen keine Wärme und sind unempfindlich gegenüber elektromagnetischen Interferenzen, weshalb sich das ZPS-System ideal für Hochpräzisionsanwendungen eignet, welche durch diese Faktoren beeinträchtigt werden können. Die ultrakompakten Sensoren werden über Glasfaserkabel mit dem kompakten zentralisierten Gehäuse verbunden. Die firmeneigene ZPS™-Software von ZYGO bietet eine Plug-and-Play-Verbindung zwischen dem ZPS-System und Ihrem Computer, sodass Sie Ihr System schnell und einfach betriebsbereit machen können.

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Anwendungen

Zubehör für ZPS-IntegrationDas ZPS-System wird in der Regel in Systemen mit geschlossenem Regelkreis genutzt, die einen kontinuierlichen Stream von hochpräzisen Positionsdaten von mehreren Sensoren erfordern, um ein mögliches Abdriften zu kompensieren und eine präzise Positionierung und Ausrichtung beizubehalten. Das System kann außerdem als Hilfsmittel in der Forschung, Entwicklung und technischen Planung sowie in Fertigungsumgebungen zum Ausrichten von Prüfvorrichtungen oder zum Quantifizieren der dynamisch-mechanischen Leistung genutzt werden.

Hauptmerkmale:

  • Berührungslose optische Messung
  • Wiederholbare Messung der Absolutposition (≤0,5 nm, 3σ)
  • Hochpräzises System mit urheberrechtlich geschützten Kompensationsalgorithmen
  • Ultrakompakte Sensoren ohne Anfälligkeit gegenüber elektromagnetischen Störungen oder Erwärmung
  • Zuverlässige, in der Telekommunikation bewährte Glasfaserkomponenten
  • Skalierbar, bis zu 64 Kanäle
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Nano-Position Sensors
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ZPS-System
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Nano-Position Sensors
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ZPS-System
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ZPS™-Systemhandbuch
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ZPS™-Systemhandbuch
DocumentOMP-0589B
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
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Hochpräzise Kurzstrecken-Verschiebungsmessung
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Glasfaserbasiertes Hochleistungs-Interferometer-System zur absoluten Abstandsmessung mit mehreren Kanälen
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In-situ-Messung für adaptive Röntgenoptiken mit einem Sensor-Array für die absolute Abstandsmessung
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Echtzeit-Feedback für adaptive Röntgenoptiken mit einem interferometrischen absoluten Abstandssensor-Array
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Echtzeit-In-Situ-Messungen der Form eines adaptiven Röntgenspiegels mittels eines Arrays interferometrischer absoluter Positions-Sensoren
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Offenbarungen bei der Kunst der Streifenzählung: Der Stand der Technik der interferometrischen Abstandsmessung
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Überprüfung der Leistung eines hochpräzisen, kompakten Interferometersensors
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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Hochpräzise Kurzstrecken-Verschiebungsmessung
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Glasfaserbasiertes Hochleistungs-Interferometer-System zur absoluten Abstandsmessung mit mehreren Kanälen
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Echtzeit-Feedback für adaptive Röntgenoptiken mit einem interferometrischen absoluten Abstandssensor-Array
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