Nanopositionssensoren
Nano-Positionssensoren von ZYGO werden häufig bei Bewegungskontrollsystemen mit geschlossenem Regelkreis eingesetzt, wie etwa für Probentische von Prüfwerkzeugen für Fotolithografie und Halbleiter, sowie für verformbare optische Systeme. Wir sind seit über 30 Jahren Vorreiter bei Innovationen im Bereich Verschiebungs- und Positionssensoren und wir arbeiten eng mit Anwendungsbereichen zusammen, welche höchste Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. Unser Team von Anwendungsspezialisten steht bereit, um Sie bei Ihren Anforderungen an die Positionsmessung zu unterstützen.
Interferometer für Verschiebungsmessungen
ZYGOs ZMI™-Systeme nutzen heterodyne Interferometer-Technologie um relative Positionsveränderungen präzise zu messen.
Absolute Positions-Sensoren
ZYGOs ZPS™-System setzt ultrakompakte, berührungslose optische Sensoren zur Messung der Absolutposition über einen Bereich von 1,2 mm auf bis zu 64 synchronisierten Kanälen ein.
Anwendungen
OEM-Services
ZYGOs Sensoren für die Positionsmessung werden seit über 30 Jahren in OEM-Anwendungen eingesetzt. Wir verstehen, dass Sie sich einen vertrauenswürdige Partner wünschen, der innovative Lösungen für Positionsmesstechnik mit zuverlässigem Betrieb und konsistente, pünktliche Lieferung bietet.
Servosteuerung für Positionierer
Mit über 30 Jahren Erfahrung sind die Sensorenprodukte für die Nanopositionierung von ZYGO zu einigen der bewährtesten Produkte geworden, die kontinuierlichen Betrieb mit herausragender Performance bieten. ZYGO ist der Marktführer für Verschiebungssensoren, welche Feedback für geschlossene Servosteuerungen auf OEM-Basis liefern.
Adaptive Optiksteuerung
Erhalten Sie eine präzisere Kontrolle über Ihre adaptiven Optiken, indem Sie verstehen, wie diese sich tatsächlich verformen! ZPS™ bietet eine umfassende Parallelanordnung von bis zu 64 Sensoren im Kleinformat, um die Vorder- und Rückseite eines Spiegels oder anderer Optiken direkt zu messen, sodass Sie die Oberflächenverformung für eine optimale Aberrationskorrektur rekonstruieren können.