Verifire™ XL

Nach unten gerichtetes Interferometer mit großer Apertur

Große Apertur, geringer Platzbedarf – Das Verifire XL ist eine schlüsselfertige Interferometer-Workstation für die problemlose Prüfung planer Optiken mit bis zu 300 mm Durchmesser.

Dieses vollständig integrierte System ist benutzerfreundlich und mit einem robusten Probentisch mit Kipp-/Neigungsfunktion ausgestattet, der die wiederholbare Probenplatzierung ohne spezielle Halterungen ermöglicht.

Das kompakte Gerät mit integrierter Schwingungsisolierung und Controller-Monitorständer benötigt minimale Stellfläche in der Produktionsumgebung.

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Leichtbau-Optik mit dem Verifire XL-Interferometer-System gemessen

Eigenständige Workstation mit großer Apertur zum Messen der Form von optischen Planflächen bis zu 300 mm (12 Zoll) im Durchmesser, wie z. B. Spiegel, Fenster, Halbleiter-Wafer, Wafer-Aufspannvorrichtungen und Blockflächen.

Hauptmerkmale

  • Nach unten ausgerichtete 300-mm-Apertur (12 Zoll) für eine einfache Teilehandhabung und -ausrichtung
  • Betriebsbereites, eigenständiges System mit Interferometer-Hauptgerät, passivem Schwingungsisoliersystem, Teileausrichtungstisch und Messobjektiv (TF) mit 1/15 PVr
  • Kompakte Stellfläche für minimalen Platzbedarf
  • Integrierte Schwingungsisolierung und QPSI™ Technologie für zuverlässige Messungen in Produktionsumgebungen

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