Verifire™ XL

Nach unten gerichtetes Interferometer mit großer Apertur

Große Apertur, geringer Platzbedarf – Das Verifire XL ist eine schlüsselfertige Interferometer-Workstation für die problemlose Prüfung planer Optiken mit bis zu 300 mm Durchmesser.

Dieses vollständig integrierte System ist benutzerfreundlich und mit einem robusten Probentisch mit Kipp-/Neigungsfunktion ausgestattet, der die wiederholbare Probenplatzierung ohne spezielle Halterungen ermöglicht.

Das kompakte Gerät mit integrierter Schwingungsisolierung und Controller-Monitorständer benötigt minimale Stellfläche in der Produktionsumgebung.

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Leichtbau-Optik mit dem Verifire XL-Interferometer-System gemessen

Eigenständige Workstation mit großer Apertur zum Messen der Form von optischen Planflächen bis zu 300 mm (12 Zoll) im Durchmesser, wie z. B. Spiegel, Fenster, Halbleiter-Wafer, Wafer-Aufspannvorrichtungen und Blockflächen.

Hauptmerkmale

  • Nach unten ausgerichtete 300-mm-Apertur (12 Zoll) für eine einfache Teilehandhabung und -ausrichtung
  • Betriebsbereites, eigenständiges System mit Interferometer-Hauptgerät, passivem Schwingungsisoliersystem, Teileausrichtungstisch und Messobjektiv (TF) mit 1/15 PVr
  • Kompakte Stellfläche für minimalen Platzbedarf
  • Integrierte Schwingungsisolierung und QPSI™ Technologie für zuverlässige Messungen in Produktionsumgebungen
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Messung asphärischer Oberflächen
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Bestimmung der Messbarkeit von Asphären
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Prüfung mit streifendem Einfall
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Interferogramm-Skalierfaktor
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Silbernes Beschichtungs-Spray
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Prüfung zylindrischer Oberflächen mit computergenerierten Hologrammen
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Streifenanalyse versus Phasenverschiebungsinterferometrie
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Prüfung von finit konjugierten Linsen
Titel
Dokument
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Messung asphärischer Oberflächen
DocumentAN-0007
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Bestimmung der Messbarkeit von Asphären
DocumentAN-0008
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Prüfung mit streifendem Einfall
DocumentAN-0010
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Interferogramm-Skalierfaktor
DocumentAN-0015
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Silbernes Beschichtungs-Spray
DocumentAN-0016
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Prüfung zylindrischer Oberflächen mit computergenerierten Hologrammen
DocumentAN-0017
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Streifenanalyse versus Phasenverschiebungsinterferometrie
DocumentAN-0018
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Prüfung von finit konjugierten Linsen
DocumentAN-0019
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Prüfung zylindrischer Optiken
DocumentAN-0020
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MetroPro®-Zylinderwerkzeuge
DocumentAN-0021
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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Interpretation und Auswertung von Interferogrammen
Titel
Dokument
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Verifire™ MST 633 nm
DocumentOMP-0515E
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
DocumentOMP-0628A
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Verifire™ MST 1550 nm
DocumentOMP-0481A
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Interpretation und Auswertung von Interferogrammen
DocumentInterEval.pdf
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Lösungen für die umgebungsresistente interferometrische Optikprüfungen
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101-Bildalgorithmus für die Phasenverschiebungsinterferometrie
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Ein Prüfinstrument für die Form optischer Oberflächen der nächsten Generation für Massenproduktions-Anwendungen
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Eine Betrachtung ausgewählter Themen in der interferometrischen Optikmessung
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Absolute Abstandsmessungen mittels FTPSI mit einem breitbandig abstimmbaren IR-Laser
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Absolute interferometrische Prüfung sphärischer Oberflächen
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Absolutmessung von rotationssymmetrischen asphärischen Oberflächen
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Anpassbare Kohärenztiefe an einem geometrisch unempfindlichen Interferometer
Titel
Dokument
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Lösungen für die umgebungsresistente interferometrische Optikprüfungen
DocumentTechnische Abhandlung
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101-Bildalgorithmus für die Phasenverschiebungsinterferometrie
DocumentTechnische Abhandlung
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Ein Prüfinstrument für die Form optischer Oberflächen der nächsten Generation für Massenproduktions-Anwendungen
DocumentTechnische Abhandlung
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Eine Betrachtung ausgewählter Themen in der interferometrischen Optikmessung
DocumentTechnische Abhandlung
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Absolute Abstandsmessungen mittels FTPSI mit einem breitbandig abstimmbaren IR-Laser
DocumentTechnische Abhandlung
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Absolute interferometrische Prüfung sphärischer Oberflächen
DocumentTechnische Abhandlung
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Absolutmessung von rotationssymmetrischen asphärischen Oberflächen
DocumentTechnische Abhandlung
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Anpassbare Kohärenztiefe an einem geometrisch unempfindlichen Interferometer
DocumentTechnische Abhandlung
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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Anwendung optischer Kohärenz in der interferometrischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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