Verifire™ XL
Nach unten gerichtetes Interferometer mit großer Apertur
Große Apertur, geringer Platzbedarf – Das Verifire XL ist eine schlüsselfertige Interferometer-Workstation für die problemlose Prüfung planer Optiken mit bis zu 300 mm Durchmesser.
Dieses vollständig integrierte System ist benutzerfreundlich und mit einem robusten Probentisch mit Kipp-/Neigungsfunktion ausgestattet, der die wiederholbare Probenplatzierung ohne spezielle Halterungen ermöglicht.
Das kompakte Gerät mit integrierter Schwingungsisolierung und Controller-Monitorständer benötigt minimale Stellfläche in der Produktionsumgebung.
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Eigenständige Workstation mit großer Apertur zum Messen der Form von optischen Planflächen bis zu 300 mm (12 Zoll) im Durchmesser, wie z. B. Spiegel, Fenster, Halbleiter-Wafer, Wafer-Aufspannvorrichtungen und Blockflächen.
Hauptmerkmale
- Nach unten ausgerichtete 300-mm-Apertur (12 Zoll) für eine einfache Teilehandhabung und -ausrichtung
- Betriebsbereites, eigenständiges System mit Interferometer-Hauptgerät, passivem Schwingungsisoliersystem, Teileausrichtungstisch und Messobjektiv (TF) mit 1/15 PVr
- Kompakte Stellfläche für minimalen Platzbedarf
- Integrierte Schwingungsisolierung und QPSI™ Technologie für zuverlässige Messungen in Produktionsumgebungen


























