Verifire™ MST

Das Verifire™ MST ermöglicht hochpräzise Messungen der Oberflächenform und übertragenen Wellenfront von optischen Komponenten und Linsensystemen. Es ist das einzige kommerzielle Interferometer, das mehrere Oberflächen gleichzeitig messen kann, dabei die relativen Oberflächeninformationen beibehält und schnelle sowie einfache Ergebnisse von mehreren Oberflächen bereitstellt.

Hauptmerkmale

• Gleichzeitige Charakterisierung von Oberfläche und Wellenfront sowie präzise Oberflächen-zu-Oberflächen-Messung wie TTV und Keil
• Oberflächen- und Dickequalifizierung von Testteilen bis zu einer minimalen Stärke von 0,5 mm
• Große laterale Auflösung, einschließlich pixelbegrenzten Designs für eine optimale ITF
  • 1,2k × 1,2k (mit diskretem Zoomrevolver für optischen Zoom bis 3X)
  • 2,3k × 2,3k
  • 3,4k × 3,4k
• In Betriebswellenlängen von 633 nm bis 1,053 µm, 1,064 µm und 1,55 µm erhältlich
• Die QPSI™ Erfassungstechnologie, die nur bei ZYGO erhältlich ist, ermöglicht zuverlässige Messungen in schwingungsanfälligen Umgebungen und ist für die Erfassung mit Wellenlängenverschiebung und FTPSI auf mehreren Oberflächen erhältlich.
• Das standardmäßig enthaltene Artefaktverringerungssystem eliminiert verzerrende Mittelpunkte und reduziert kohärentes Rauschen.