Verifire™ MST

Interferometer für die gleichzeitige Prüfung mehrerer Oberflächen

Laser-Interferometer Verifire™ MSTDas Komplexe vereinfachen – mehrere Oberflächen erzeugen komplexe Streifenmuster und der Verifire™ MST setzt patentierte Technologie zur Wellenlängenverschiebung zur Erfassung von Phasendaten von mehreren Oberflächen gleichzeitig ein.  Erfassen Sie Kennzahlen einzelner Oberflächen paralleler Fenster, die übertragene Wellenfront sowie präzise Surface-to-Surface-Informationen wie die absolute Dickenvariation (TTV), Keilwinkel und selbst Material-Inhomogenität.

Das Verifire™ MST ist für anspruchsvolle Anwendungen wie etwa Display-Gläser für Mobiltelefone, Datenspeicherplatten und Halbleiter-Wafer mit präzisen Oberflächen- und Dickenvariationsmessungen für Prüfobjekte mit bis zu 0,5 mm Dicke konzipiert. 

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Das Verifire™ MST ermöglicht hochpräzise Messungen der Oberflächenform und übertragenen Wellenfront von optischen Komponenten und Linsensystemen. Es ist das einzige kommerzielle Interferometer, das mehrere Oberflächen gleichzeitig messen kann, dabei die relativen Oberflächeninformationen beibehält und schnelle sowie einfache Ergebnisse von mehreren Oberflächen bereitstellt.

Hauptmerkmale

  • Gleichzeitige Charakterisierung von Oberfläche und Wellenfront sowie präzise Oberflächen-zu-Oberflächen-Messung wie TTV und Keil
  • Oberflächen- und Dickequalifizierung von Testteilen bis zu einer minimalen Stärke von 0,5 mm
  • Große laterale Auflösung, einschließlich pixelbegrenzten Designs für eine optimale ITF
    • 1,2k × 1,2k (mit diskretem Zoomrevolver für optischen Zoom bis 3X)
    • 2,3k × 2,3k
    • 3,4k × 3,4k
  • In Betriebswellenlängen von 633 nm bis 1,053 µm, 1,064 µm und 1,55 µm erhältlich
  • Die QPSI™ Erfassungstechnologie, die nur bei ZYGO erhältlich ist, ermöglicht zuverlässige Messungen in schwingungsanfälligen Umgebungen und ist für die Erfassung mit Wellenlängenverschiebung und FTPSI auf mehreren Oberflächen erhältlich.
  • Das standardmäßig enthaltene Artefaktverringerungssystem eliminiert verzerrende Mittelpunkte und reduziert kohärentes Rauschen.

 

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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Verifire™ MST
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Verifire™ MST+
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Verifire™ HD-MST
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Verifire™ HDX-MST
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Verifire™ MST IR
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Laser Interferometer Accessory Guide
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Interactive Transmission Sphere Selector
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Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
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Horizontal Radius Metrology Specs
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Transmission Sphere Selection Guide
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Typical Interferometer Setups Guide
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Transmission Spheres Specs
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Laser Interferometers
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Laser Interferometers
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Verifire™ MST
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Verifire™ HD-MST
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Messung asphärischer Oberflächen
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Bestimmung der Messbarkeit von Asphären
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Prüfung mit streifendem Einfall
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Interferogramm-Skalierfaktor
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Silbernes Beschichtungs-Spray
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Prüfung zylindrischer Oberflächen mit computergenerierten Hologrammen
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Streifenanalyse versus Phasenverschiebungsinterferometrie
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Prüfung von finit konjugierten Linsen
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Messung asphärischer Oberflächen
DocumentAN-0007
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Bestimmung der Messbarkeit von Asphären
DocumentAN-0008
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Prüfung mit streifendem Einfall
DocumentAN-0010
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Interferogramm-Skalierfaktor
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Silbernes Beschichtungs-Spray
DocumentAN-0016
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Prüfung zylindrischer Oberflächen mit computergenerierten Hologrammen
DocumentAN-0017
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Streifenanalyse versus Phasenverschiebungsinterferometrie
DocumentAN-0018
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Prüfung von finit konjugierten Linsen
DocumentAN-0019
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Prüfung zylindrischer Optiken
DocumentAN-0020
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MetroPro®-Zylinderwerkzeuge
DocumentAN-0021
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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Interpretation und Auswertung von Interferogrammen
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Leitfaden zur Schnelleinrichtung von Laser-Interferometern
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Auswahlleitfaden für Messobjektive
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Messobjektivauswahl (interaktives Excel®-Dokument)
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Mx™-Kurzanleitung
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Mx™-Referenzleitfaden
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Mx™-Leitfaden für Fernzugriff
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Verifire™ MST 633 nm
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Verifire™ 633 nm MST Plus, HD MST, HDX MST
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Verifire™ MST 1550 nm
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Interpretation und Auswertung von Interferogrammen
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Zubehörleitfaden für Laser-Interferometer
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Leitfaden zur Schnelleinrichtung von Laser-Interferometern
DocumentOMP-0584A
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Auswahlleitfaden für Messobjektive
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Messobjektivauswahl (interaktives Excel®-Dokument)
DocumentOMP-0495E
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Mx™-Kurzanleitung
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Mx™-Referenzleitfaden
DocumentOMP-0550D
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Mx™-Leitfaden für Fernzugriff
DocumentOMP-0600A
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Lösungen für die umgebungsresistente interferometrische Optikprüfungen
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101-Bildalgorithmus für die Phasenverschiebungsinterferometrie
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Ein Prüfinstrument für die Form optischer Oberflächen der nächsten Generation für Massenproduktions-Anwendungen
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Eine Betrachtung ausgewählter Themen in der interferometrischen Optikmessung
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Absolute Abstandsmessungen mittels FTPSI mit einem breitbandig abstimmbaren IR-Laser
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Absolute interferometrische Prüfung sphärischer Oberflächen
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Absolutmessung von rotationssymmetrischen asphärischen Oberflächen
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Anpassbare Kohärenztiefe an einem geometrisch unempfindlichen Interferometer
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DocumentTechnische Abhandlung
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Anpassbare Kohärenztiefe an einem geometrisch unempfindlichen Interferometer
DocumentTechnische Abhandlung
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
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Anwendung optischer Kohärenz in der interferometrischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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