Systeme mit großer Apertur

Erweiterte Aperturen für die Messung großformatiger Optiken

Interferometrisches System mit 24" großer Apertur
Interferometrisches System mit 24" großer Apertur

ZYGO-Geräte zur Strahlaufweitung auf horizontaler Ebene erhöhen die native Apertur eines 4”-Interferometers auf 12”, 18”, 24” oder sogar 32”, um eine präzise Interferometrie großformatiger Optiken sowie die Qualifizierung optischer Systeme zu ermöglichen.

Horizontale Systeme mit großer Apertur bieten die einzigartige Fähigkeit, zwei unabhängige Messkanäle zu nutzen; einen mit der nativen 4”-Apertur des Interferometers und einen anderen mit einem erweiterten Strahl von bis zu 32”, wodurch die Flexibilität von zwei Interferometern in einem Gerät erreicht wird.  Bei Konfiguration mit geeignetem Zubehör können die Systeme mit großer Apertur zur Messungen sowohl der Oberflächenform als auch der übertragenen Wellenfront genutzt werden.

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Interferometrisches System mit 32" großer Apertur
Interferometrisches System mit 32" großer Apertur

Strahlaufweitungen von ZYGO werden auf der ganzen Welt bereitgestellt, um die anspruchsvollsten und präzisesten Anwendungen für die Messung von großen Optiken zu bedienen.  Jahrzehntelange Erfahrung in der Entwicklung von Strahlaufweitungen und der internen Produktion von wichtigen Komponenten wie superpräzisen Planmessplatten garantiert, dass Ihre Anwendungsbedürfnisse erfüllt und auch in Zukunft unterstützt werden.

Die Komponenten des Systems mit großer Apertur können getrennt vom Interferometer-Hauptgerät erworben werden. Kontaktieren Sie Ihren ZYGO Vertriebsbeauftragten vor Ort, um Hilfe beim Konfigurieren des Systems entsprechend Ihren Messanforderungen zu erhalten.

Hauptmerkmale

  • Erweiterte Aperturen 12”, 18”, 24” und 32”
  • 4”-Dualkanal und verlängerter Standfuß für zusätzliche Flexibilität bei großen und kleinen Aperturen
  • Für hohe Auflösung konzipierte Strahlaufweitung; behält die ITF für interferometrische Systeme bis zu 3,4k × 3,4k bei
  • Unterstützung von schwingungsresistenter QPSI-Erfassung
  • In Betriebswellenlängen von 633 nm bis 1,55 µm erhältlich
  • Optisches und mechanisches Zubehör für jede Apertur, einschließlich Referenzoptiken bis λ/25 PVr
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Laser Interferometer Accessory Guide
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Interactive Transmission Sphere Selector
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Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
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Leitfaden für Systeme mit großer Apertur (12/18/24/32 Zoll)
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Leitfaden für Systeme mit großer Apertur (12/18/24/32 Zoll)
DocumentOMP-0579H
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Lösungen für die umgebungsresistente interferometrische Optikprüfungen
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101-Bildalgorithmus für die Phasenverschiebungsinterferometrie
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Ein Prüfinstrument für die Form optischer Oberflächen der nächsten Generation für Massenproduktions-Anwendungen
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Eine Betrachtung ausgewählter Themen in der interferometrischen Optikmessung
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Absolute Abstandsmessungen mittels FTPSI mit einem breitbandig abstimmbaren IR-Laser
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Absolute interferometrische Prüfung sphärischer Oberflächen
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Absolutmessung von rotationssymmetrischen asphärischen Oberflächen
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Anpassbare Kohärenztiefe an einem geometrisch unempfindlichen Interferometer
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Lösungen für die umgebungsresistente interferometrische Optikprüfungen
DocumentTechnische Abhandlung
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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Anwendung optischer Kohärenz in der interferometrischen Messtechnik
DocumentTechnische Abhandlung
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