Nexview™ LS650
Large Format Inspection & Metrology
The Nexview™ 650 metrology system is an inspection tool for automated measurement of injection molding tooling, PCBs, glass panels and other samples requiring an extended work volume up to 650 x 650 mm. It provides 2D & 3D measurements of a variety of surface features with sub-nanometer vertical precision and sub-micron lateral precision.
Powerful Performance
Coherence Scanning Interferometry (CSI) is the measurement technology at the core of the Nexview™ 650 system.
This non-contact technique provides high-precision, and high-value surface metrology benefits including:
- Measures virtually all types of surfaces, from rough to super smooth, including thin films, steep slopes, and large steps.
- Sub-nanometer measurement precision is independent of field magnification
- Gage capable performance - exceptional precision and repeatability for the most demanding production applications.
- SureScan™ vibration tolerance technology - robust operation in virtually any environment.
- Mx™ software enables seamless data exchange with other ZYGO Profilers including ZeGage™ Pro, NewView™ 9000, and Nexview™ NX2.
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Maximale Rendite
Das Nexview™ LS650 wurde so entwickelt und gebaut, dass es viele Jahre einen Mehrwert liefert. Mit einem Messbereich, der laterale Abmessungen bis 650 × 650 mm, eine Probenlast von mehr als 100 kg, einen vertikalen Bereich von 150 mm und Optionen für ein vollständig oder partiell geschlossenes System abdeckt, bietet das Nexview™ LS650 maximale Flexibilität für große Proben, die präzises, optisches 3D-Profiling erfordern.
Beispiel: Das System umfasst:
- Jede der heutigen PCB-Standardsubstrat-Plattengrößen
- Kundenspezifische Probenhalterungen für flexible Platten usw., die fast ungeachtet ihrer Masse auf dem belastbaren Y-Tisch bereitgestellt werden können
- Große und schwere Spritzgussplatten, die von präziser, berührungsloser Inspektion profitieren, um potenzielle Schäden der Präzisionsoberfläche zu minimieren
Kundenspezifische Einspannvorrichtungen und Probenhalterungen können entworfen oder vom Kunden bereitgestellt werden, um das System auf kleinere Platten oder sogar singuläre Substrate anzupassen und so die Anwendungsflexibilität zu erhöhen.
Zusätzlich ermöglicht die integrierte, rezepturbasierte Automatisierungssoftware eine freihändige Messung mehrerer Merkmale pro Platte an einem einzigen Arbeitsplatz, was die Fertigungsdauer verkürzt und das Prozessverständnis erhöht.
