Nexview™ LS650

Large Format Inspection & Metrology

Nexview 650The Nexview™ 650 metrology system is an inspection tool for automated measurement of injection molding tooling, PCBs, glass panels and other samples requiring an extended work volume up to 650 x 650 mm. It provides 2D & 3D measurements of a variety of surface features with sub-nanometer vertical precision and sub-micron lateral precision.

Powerful Performance

Coherence Scanning Interferometry (CSI) is the measurement technology at the core of the Nexview™ 650 system.

This non-contact technique provides high-precision, and high-value surface metrology benefits including:

  • Measures virtually all types of surfaces, from rough to super smooth, including thin films, steep slopes, and large steps.
  • Sub-nanometer measurement precision is independent of field magnification
  • Gage capable performance - exceptional precision and repeatability for the most demanding production applications.
  • SureScan™ vibration tolerance technology - robust operation in virtually any environment.
  • Mx™ software enables seamless data exchange with other ZYGO Profilers including ZeGage™ Pro, NewView™ 9000, and Nexview™ NX2.
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Maximale Rendite

Nexview LS650

Das Nexview™ LS650 wurde so entwickelt und gebaut, dass es viele Jahre einen Mehrwert liefert.  Mit einem Messbereich, der laterale Abmessungen bis 650 × 650 mm, eine Probenlast von mehr als 100 kg, einen vertikalen Bereich von 150 mm und Optionen für ein vollständig oder partiell geschlossenes System abdeckt, bietet das Nexview™ LS650 maximale Flexibilität für große Proben, die präzises, optisches 3D-Profiling erfordern.

Beispiel: Das System umfasst:

  • Jede der heutigen PCB-Standardsubstrat-Plattengrößen
  • Kundenspezifische Probenhalterungen für flexible Platten usw., die fast ungeachtet ihrer Masse auf dem belastbaren Y-Tisch bereitgestellt werden können
  • Große und schwere Spritzgussplatten, die von präziser, berührungsloser Inspektion profitieren, um potenzielle Schäden der Präzisionsoberfläche zu minimieren

Kundenspezifische Einspannvorrichtungen und Probenhalterungen können entworfen oder vom Kunden bereitgestellt werden, um das System auf kleinere Platten oder sogar singuläre Substrate anzupassen und so die Anwendungsflexibilität zu erhöhen.

Zusätzlich ermöglicht die integrierte, rezepturbasierte Automatisierungssoftware eine freihändige Messung mehrerer Merkmale pro Platte an einem einzigen Arbeitsplatz, was die Fertigungsdauer verkürzt und das Prozessverständnis erhöht. 

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Zubehörleitfaden für optische 3D-Profilometer
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3D Optical Profilers
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Nexview™ NX2, NewView™ 9000, ZeGage™ Pro-Objektive
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Nexview™ 650
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Zubehörleitfaden für optische 3D-Profilometer
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3D Optical Profilers
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Nexview™ NX2, NewView™ 9000, ZeGage™ Pro-Objektive
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Nexview™ 650
DocumentSpecifications
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Folienanalyse mit der Mx™-Software
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Messungen der Oberflächentextur im Sub-Angström-Bereich
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Messung dynamischer MEMS-Geräte
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Erkennung und Kontrolle von Schwingungen
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PSD-Analyse
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Vision-Softwarepaket
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ABS-Geometrie und MetroPro®-Berechnungen
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Das Optimum aus modernen Texturanwendungen herausholen
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Filterung beim NewView™
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PV-Performance von Dünnschichten zur Trübungskontrolle
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Messung von Photovoltaikanlagen mit einem NewView™
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Messung mit einem optischen Verteiler an einem NewView
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Messung gehonter Oberflächen mit einem NewView
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Messung von Diesel-Kraftstoffeinspritzdüsen
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Folienanalyse mit der Mx™-Software
DocumentAN-0001
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Messungen der Oberflächentextur im Sub-Angström-Bereich
DocumentAN-0002
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Messung dynamischer MEMS-Geräte
DocumentAN-0003
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Erkennung und Kontrolle von Schwingungen
DocumentAN-0006
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PSD-Analyse
DocumentAN-0009
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Vision-Softwarepaket
DocumentAN-0011
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ABS-Geometrie und MetroPro®-Berechnungen
DocumentAN-0012
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Das Optimum aus modernen Texturanwendungen herausholen
DocumentAN-0013
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Filterung beim NewView™
DocumentAN-0014
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PV-Performance von Dünnschichten zur Trübungskontrolle
DocumentAN-0041
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Messung von Photovoltaikanlagen mit einem NewView™
DocumentAN-0044
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Messung mit einem optischen Verteiler an einem NewView
DocumentAN-0052
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Messung gehonter Oberflächen mit einem NewView
DocumentAN-0053
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Messung von Diesel-Kraftstoffeinspritzdüsen
DocumentAN-0100
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Zubehörleitfaden für optische Profilometer (für NewView 8/9000 & Nexview/NX2)
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Mx™-Kurzanleitung
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Mx™-Referenzleitfaden
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Mx™-Leitfaden für Fernzugriff
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Zubehörleitfaden für optische Profilometer (für NewView 8/9000 & Nexview/NX2)
DocumentOMP-0594J
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Mx™-Kurzanleitung
DocumentOMP-0570D
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Mx™-Referenzleitfaden
DocumentOMP-0550D
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Mx™-Leitfaden für Fernzugriff
DocumentOMP-0600A
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Optische 3D-Profilometer ermöglichen zuverlässigen Leichtbau von Motoren
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Eine neue Klasse von Weitfeldobjektiven für die 3D-Interferenzmikroskopie
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Genaue, wiederholbare, lineare Bewegung von vorgespannten piezoelektrischen Aktoren
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Moderne Messtechnik für Energieeffizienz
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Fortschritte bei der optischen Messtechnik
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Winkelaufgelöste, dreidimensionale Analyse von Folien durch Kohärenz-Scaninterferometrie
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Anwendung modellbasierter Analysen für Folien mit transparenter Oberfläche mittels Kohärenz-Scaninterferometrie
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Kalibrierung des Vergrößerungskoeffizienten in der Interferenzmikroskopie mittels eines Wellenlängenstandards
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Optische 3D-Profilometer ermöglichen zuverlässigen Leichtbau von Motoren
DocumentArtikel
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Eine neue Klasse von Weitfeldobjektiven für die 3D-Interferenzmikroskopie
DocumentTechnische Abhandlung
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Genaue, wiederholbare, lineare Bewegung von vorgespannten piezoelektrischen Aktoren
DocumentTechnische Abhandlung
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Moderne Messtechnik für Energieeffizienz
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Winkelaufgelöste, dreidimensionale Analyse von Folien durch Kohärenz-Scaninterferometrie
DocumentTechnische Abhandlung
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Anwendung modellbasierter Analysen für Folien mit transparenter Oberfläche mittels Kohärenz-Scaninterferometrie
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Kalibrierung des Vergrößerungskoeffizienten in der Interferenzmikroskopie mittels eines Wellenlängenstandards
DocumentTechnische Abhandlung
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Herausforderungen und Lösungen bei der optischen Messung von Asphären
DocumentTechnische Abhandlung
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Charakterisierung von Materialien und Schichtstapeln zur präzisen Messung der Oberflächentopografie mittels eines optischen Weißlicht-Profilometers
DocumentTechnische Abhandlung
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