Laden Sie unser kostenloses Fourier-Demo-Tool herunter und lernen Sie es zu benutzen.

Viele ZYGO-Messgeräte basieren auf Interferometrie in Kombination mit bildgebenden Systemen zur Messung von Oberflächenform, -welligkeit und -rauheit. Obwohl diese Geräte über fortschrittliche Software verfügen, die die Dateninterpretation für Sie übernimmt, kann es hilfreich sein, zu verstehen, wie der Abbildungsprozess interferometrische Messungen auf einer grundlegenden Ebene beeinflusst. Dieses Verständnis kann bei der Optimierung von Messaufbauten helfen, z. B. bei der Wahl des geeigneten Mikroskop-Objektivs für optische 3D-Profiler bei gegebenen Oberflächenneigungen und dem minimalen erkennbaren Merkmalsabstand bei einer bestimmten numerischen Apertur.

ZYGO hat einen interaktives Demo-Tool entwickelt, das ein einfaches Excel-Arbeitsblatt und dessen Standard-Tabellenfunktionen nutzt, um die Reaktion eines stark vereinfachten Interferometers zu simulieren. Das Demo-Tool ist zwar nicht dazu gedacht, eine sorgfältige Anwendungsentwicklung zu ersetzen oder perfekt vorherzusagen, was bei realen Messungen mit fortschrittlicher Hardware und Software zu erkennen ist, aber es ist ein ansprechender und benutzerfreundlicher Ansatz zum Erlernen der Grundlagen interferometrischer Messungen der Oberflächentopografie.

Hier sind die Links zum interaktiven Demo-Tool und den dazu gehörigen Begleitmaterialien:

  • Elementares Fourier-Optik-Modell für interferometrische Messungen der Oberflächentopografie (interaktives Demo-Tool, Excel-Dokument)
  • "How To"-Video für das oben genannte interaktive Demo-Tool
  • Video-Tutorial über die Theorie des interaktiven Demo-Tools
  • (vom SPIE Optics and Photonics Digital Forum 2020)
  • Fourier-Optik-Modellierung der Instrumentenreaktion für Interferenzmikroskopie (Technical Paper)

 

Möchten Sie mehr über die Fourier-Optik-Modellierung von interferometrischen Messungen erfahren? Füllen Sie einfach das Kontakt-Formular aus!