Dünnglas

Innovative Technologie ermöglicht gleichzeitige Formmessungen der Vorder- und Rückseiten von dünnen Optiken. 

Für die Messung montierte DünnglasscheibeAngetrieben durch die Nachfrage nach immer kleineren Verbraucherprodukten und Halbleitergeräten benötigen Hersteller dünne Planoptiken für eine Vielzahl von Anwendungen.

Das ruft die Material- und Optikhersteller in die Verantwortung, die sicherstellen müssen, dass das Glas flach und frei von Deformationen ist, die eine Verzerrung verursachen und letztlich die endgültige Funktionalität beeinträchtigen könnten.

Die Messung der Oberflächen von dünnen, planparallelen Optiken war in der Vergangenheit immer problematisch, da zahlreiche Reflexionen der Vorder- und Rückseite an das Interferometer zurückgesendet werden.

Mehrfach überlappende StreifenmusterDies führt zu einem komplexen Muster sich überlappender Interferenzstreifen, die es für herkömmliche Techniken der Phasenverschiebungsinterferometrie (PSI) äußerst schwer – wenn nicht gar unmöglich – machen, zuverlässige Ergebnisse zu erhalten.

Zur Überwindung der Einschränkungen beim Messen von dünnen, planparallelen optischen Komponenten mit PSI wurden verschiedene Techniken entwickelt. Dazu gehört die Beschichtung der Rückseite, welche die sekundäre Reflexion verringert oder eliminiert. Das Auftragen von schwarzer Farbe, das Einfärben mit dunklem Marker oder das Verteilen von Vaseline auf der Rückseite braucht Zeit, fügt unerwünschte Schritte zum Messprozess hinzu und birgt das Risiko einer Beschädigung oder Verzerrung der dünnen Komponente beim Auftragen oder Entfernen der Beschichtung.

Messung optischer DünnglaskomponentenZYGO bietet eine fortschrittlichere Lösung an, die Phasenverschiebungsinterferometrie mit Fourier-Transformation (FTPSI). Hierdurch wird die einfache Charakterisierung der Vorder- und Rückfläche, der optischen und physischen Dickenvariation sowie der Materialhomogenität von dünnem, parallelem Planglas ermöglicht. FTPSI erlaubt die Unterscheidung zwischen den Vorder- und Rückseiten und die Charakterisierung der Qualität beider in einer einzelnen Messung, selbst wenn die Optik weniger als einen Millimeter dick ist.

Sie benötigen weitere Informationen oder fachkundige Beratung für Ihre Messanwendung? Kontaktieren Sie ZYGO noch heute.

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