Fotolithografie-Stufen

ZMI-System für Probentisch-PositionsmessungMit über 30 Jahren Erfahrung sind die Sensorenprodukte für die Nanopositionierung von ZYGO zu einigen der bewährtesten Produkte geworden, die kontinuierlichen Betrieb mit herausragender Performance bieten. ZYGO ist der Marktführer für Verschiebungssensoren, welche Feedback für geschlossene Servosteuerungen auf OEM-Basis liefern. Fertigungs- und Prozesskontrollwerkzeuge innerhalb der Produktion für Halbleiter und Flachbildschirme verlassen sich heute auf Sensoren von ZYGO, um die Präzision und Zuverlässigkeit zu liefern, die für die Massenfertigung benötigt wird.

Unsere ZMI™-Sensoren für die Positionsverschiebung werden eingesetzt, um die relative Bewegung von Fadenkreuzen/Masken und Wafer-Probenhaltern in diesen Systemen im Nanometerbereich zu messen. Unsere modularisierten Komponenten können so konfiguriert werden, dass sie sämtliche erforderlichen Freiheitsgrade für Ihre speziellen Anwendungen bieten, um eine erfolgreiche Bewegungskontrolle im Nanometerbereich sicherzustellen. Ein einzelner ZMI-Laserkopf kann zwischen 2 und 22 Messachsen messen und erlaubt so eine vollständig synchrone Messung über alle Achsen hinweg.

Als Ihr Partner bei der Bewegungssteuerung können Sie sich darauf verlassen, dass ZYGO Ihnen zur Seite steht, um Ihre fortlaufenden Systemverbesserungen zu unterstützen und Ihnen den Weg für Ihre Anforderungen der nächsten Generation zu ebenen. 

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