Mikro-elektromechanische Systeme (MEMS)

Mikro-elektromagnetische Systeme oder MEMS haben sich zu kritischen Komponenten bei einer Vielzahl von Verbraucher- und Industrieprodukten entwickelt, wie unter anderem Tintendruckern, Mobiltelefonen und Beschleunigungsmessern für Auto-Airbags. MEMS-Geräte werden üblicherweise in großen Volumen und mittels modifizierter Halbleiterherstellungsprozesse nach exakten Spezifikationen gefertigt. Damit MEMS-Hersteller die hohen Produktionsstandards einhalten können, müssen diese Geräte bei verschiedenen Schritten des Design-, Fertigungs- und Produktionsprozesses gemessen werden.

Unsere optischen 3D-Profilometersysteme erlauben es Herstellern, durch vollständig automatisierte Messtechnik und Prüfung hohe Qualitäts- und Prozesskontrollstandards einzuhalten.  Mithilfe unserer vielseitigen Hardwareplattform sowie dem leistungsstarken Mx™-Messsoftware-Paket sind diese Systeme vollständig konfigurierbar sowie programmierbar und ermöglichen so hochpräzise, berührungslose MEMS-Oberflächen- und Dimensionsmessungen. Auch wenn die große Bandbreite von MEMS-Anwendungen und -designs jede Anwendung einzigartig machen, blickt ZYGO auf eine lange Geschichte bei der Unterstützung der Forschung, Produktentwicklung und Fertigung im Bereich MEMS zurück.

Oberflächen-Profiling

Von der reinen Substratqualifizierung bis zur prozessintegrierten Verifizierung und Endprüfung, optische 3D-Profilometersysteme von ZYGO liefern hochpräzise Oberflächenabbildungen für Ihr Gerät. Typische Anwendungen sind unter anderem:

Rauheits- und Fehlerprüfung für unbeschichtete und beschichtete Substrate. Präzision im Sub-Nanometerbereich und flexible Bildbereiche ermöglichen schnellste Eingangs-QK.

Verifizierung der Aufbringungsdicke und Ätztiefe. Messen Sie kritische Oberflächenhöhen und -tiefen mit einer automatisierten Analyseroutine, welche die manuelle Konfiguration und Einflussnahme durch den Bediener unnötig macht.

Statische Einfederung von Auslegern, Membranen und gesteuerten Spiegeln. Die statische Einfederung kann für Mikrofone, Lautsprecher und Mikro-Auslegersysteme unter Last gemessen werden, einschließlich der Prüfung der Stellzeit für adaptive Spiegelflächen.

Folien- und Beschichtungsmessungen

Techniken für die Folienanalyse erlauben die Messung der Dicke von transparenten Folien sowie der Oberflächen- und Substrattopografie. Oxide und Fotolack sind die üblichsten Anwendungen, Schutz- oder Isolierbeschichtungen wie AIN oder AL203 eigenen sich jedoch ebenfalls gut zur Messung. Dank einer kompletten Palette einzigartiger Technologien für die Folienmessung kann ZYGO Lösungen für transparente Beschichtungen mit einer Dicke im Bereich zwischen 100 Nanometer bis über 100 Mikrometer anbieten.

Präzise laterale Dimensionierung

Zusätzlich zu hochauflösenden, dreidimensionalen Oberflächenabbildungen erzeugt ZYGO-CSI die saubersten, kontrastreichsten Mikroskopbilder, die mit einem Interferometer möglich sind. In Kombination mit dem VisionPro-Softwarepaket können diese Bilder für die laterale Sub-Pixel-Dimensionierung sowie automatisierte Ausrichtung verwendet werden.

MEMS und Mikroelektronik umfassen oft mehrstufige Fertigungsprozesse, welche korrekt ausgerichtete Masken erfordern. Messen Sie die relative Position und Platzierung gleichzeitig mit der Messung der Ätztiefe, um Fehler aufgrund nicht ausgerichteter Merkmale zu vermeiden. Bildverarbeitungsanwendungen wirken sich nicht zusätzlich auf den Messdurchsatz, die vollständige Integration mit der Ergebnisverfolgung der Mx™-Software, Toleranzen, die Berichterstellung sowie die Gewissheit eines direkten Supports durch ZYGO aus.

Instrumente für den kompletten Prozess

Die Herstellung eines guten Produkts und dessen Vermarktung erfordert eine große Zahl von Helfern, vom Forschungsteam bis zu den Technikern für die Produktentwicklung sowie den Bedienern im Fertigungsbereich. Wir begleiten Sie bei jedem Schritt auf diesem Weg, beginnend mit Forschungsinstrumenten, von denen wir wissen, dass Sie sie nicht täglich einsetzen. Daher stellen wir sicher, dass Sie dank innovativer Funktionen wie Part Finder schnell die gewünschten Daten auf Ihrem Bildschirm haben. Wir gewährleisten, dass Sie Ergebnisse schnell mit Ihren Kollegen teilen können – zudem stellen wir Mx gratis zur Verfügung , sodass Sie vom Labor, dem Büro oder Ihrem Zuhause aus arbeiten können.

Vertrauen Sie bei der Kontrolle des Produktionsprozesses auf ZYGOs Erfahrung im Bereich zuverlässiger Automatisierungsroutinen, statistischer Nachverfolgung und Berichterstellung sowie eine globale Service-Organisation. Leistungsstarke Erstellungswerkzeuge für Anwendungen sowie Skriptfunktionen erlauben den Betrieb per Tastendruck mit Pass-/Fail-Anzeige.