Festpunkt- & relationale Messung
Bei den meisten optischen Linsenanwendungen sind die Ausrichtung, Positionierung und Geometrie der Linsen genauso kritisch wie die Oberflächenform. Sind diese nicht korrekt ausgerichtet, so erbringt eine perfekt gefertigte optische Oberfläche nur niedrige Leistung und kann zu nicht mit der Teilequalität in Verbindung stehenden Fehlern führen.
Um die korrekte Ausrichtung zu erleichtern, nutzen viele asphärische Linsen zusätzliche geometrische Referenzpunkte auf der Probe, wie etwa flache Kreisringe, konische Verzahnungen und präzise Außendurchmesser. Mit 3D-Messtechnik von ZYGO können viele dieser Referenzpunkte präzise charakterisiert werden, um eine optimale Leistung des optischen Linsensystems sicherzustellen.
Typische Anwendungen sind unter anderem die Messung der Flachheit und Höhe ringförmiger Referenzpunkte, die Zentrierung optischer Oberflächen sowie Durchmesser, Linsendicke und Rundheit konischer Verzahnungen. Die Analyse von Referenzpunkten kann zu schnelleren Messungen führen und bietet Erkenntnisse zu durch die Ausrichtung verursachten Fehlern gegenüber Fabrikationsfehlern.