Messung von Asphären und Freiformen

Anwendungsbereiche für asphärische und Freiformoptiken wachsen ständig und sind häufig dort zu finden, wo eine verbesserte Leistungsfähigkeit bei der Bildgebung sowie weniger optische Elemente erwünscht sind. Das Design dieser komplexen Optiken sowie deren Präzisionsfertigung sind zu wichtigen Faktoren bei der Kommerzialisierung fortschrittlicher optischer Systeme geworden, die in unterschiedlichen Anwendungen, wie unter anderem LED-Beleuchtung, Laserstrahlformung, Unterhaltungselektronik, Bildgebungssensoren, Teleskopen, Head-Mounted-Displays, Kameras und Lithografie-Stepper-Linsen, eingesetzt werden.

Anders als herkömmliche, gewölbte Optiken, bei denen die Oberflächenform nominal sphärisch ist, verfügen asphärische und Freiform-Oberflächen über eine optische Oberfläche mit typischerweise komplexen, geneigte Flächen mit hohem Aspektverhältnis. Bei Freiformoptiken werden sphärische, asphärische und toroidale Oberflächen in einem einzigen Teil vereint, was diese schwierig zu entwerfen, messen und fertigen macht.
Bei diesen Arten von komplexen Oberflächen spielt präzise Messtechnik eine Schlüsselrolle für die Qualitätskontrolle und Feedback während des Herstellungsprozesses.  Laser-Interferometer und optische 3D-Profilometer von ZYGO stellen die Qualitäts- und Prozessüberwachung während der Fertigung sicher, indem sie kritische Oberflächenparameter charakterisieren und quantifizieren, wie etwa Formfehler, Welligkeit, Defekte und Oberflächenrauheit.

Im Vergleich zu taktilen Verfahren zur Messung optischer Oberflächen bieten ZYGO-Interferometer einige wesentliche Vorteile für eine effizientere Qualitätskontrolle und Optimierung des Ertrags:

  • Berührungslose Methode – vermeidet mögliche Beschädigungen behandelter, hochwertiger Oberflächen
  • Vollbereichs-3D-Messung – bietet verbesserte Einsichten in den Prozess und Charakterisierung der Oberflächen im Vergleich zu einzelnen (2D-) Profilen. 

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