Form und Flachheit

Oberflächen können in zahlreichen Formen und Größen gefertigt werden. Für Oberflächen, bei denen die Charakterisierung ihrer Form funktionskritisch ist, bieten sich Laser-Interferometer und optische 3D-Profilometer von ZYGO dank ihrer Wiederholbarkeit für berührungslose Oberflächendaten im Sub-Nanometerbereich besonders an. Durch die Aufnahme der Branchenstandards für Form und Flachheit in die Mx™-Analysesoftware entsteht ein einzelnes, komplettes Werkzeug für die Oberflächenprüfung. Entdecken Sie nachfolgend die Lösungen für Ihre Anwendung im Bereich der Form- und Flachheitsmessung von Oberflächen.

Form

Formmessung

Die Formmessung kann als die absolute oder relative Messung einer Oberfläche im Vergleich zu einer Grundform beschrieben werden. Produkte von ZYGO decken allgemeine Anwendungen wie Sphären oder Zylinder bei der Messung mittels Standardprodukten sowie spezialisierte Anwendungen und Werkzeuge für kompliziertere Formen wie etwa Asphären oder Dünnglas ab.

Der Anwendungsbereich von ZYGO bei der Formmessung ist breit gefächert und unsere Werkzeuge flexibel. Radien an Schrägen, Winkel von Prismen oder zwischen Oberflächen sowie Oberflächenkrümmung sind nur einige Beispiele. Kartesische und rotationssymmetrische Anpassungsfunktionen begleiten Millionen von Datenpunkten auf einer bestimmten Oberfläche, um die Zuverlässigkeit unserer Formmessungen sicherzustellen.

Ebenheit

Ebenheitsmessung

Ebenheitsmessungen werden innerhalb des ZYGO-Produktprogramms auf verschiedene Weisen ausgeführt. Mittels hochwertiger Referenzflächen (bis zu λ/50) können Laser-Interferometer von ZYGO Flächen für Weltraum-Teleskope bis zu den stählernen Grundflächen messen. Die Mx™-Software erweitert den Anwendungsbereich für die Ebenheitsmessung für übergroße (größer als 4 bis 6”) rechteckige Oberflächen mittels streifender Inzidenzmessung.

Optische Profilometer mit motorisiertem Probentisch bewältigen Messungen mit kleinem Sichtfeld mittels Zusammenführung und strukturierten Bewegungen zur Erfassung und Darstellung von Ebenheitsergebnissen für Ihre Oberfläche. Auf ähnliche Weise ermöglicht die Bandbreite von Arbeitsabständen für unsere Mikroskopobjektive die Messungen von flachen Aufnahmen und Dichtflächen in vertieften Kavitäten.

Dank einer Vielzahl von Lösungen und einem robusten Anwendungsbereich ist ZYGO stolzer Marktführer bei der Form- und Ebenheitsmessung von Oberflächen. Erfahren Sie, wie ZYGO Oberflächenspezifikationen einhalten und gleichzeitig Ihre Erwartungen übertreffen kann.  

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