Optische Messung von Folien und Beschichtungen

Präzise Charakterisierung der Topografie und Dicke von Dick- und Dünnschichten sowie Substrattopografie

3D-Messung der teilweisen Deckschicht transparenter Folien auf einem Gerät
Eine Messung, welche die teilweise Deckschicht einer transparenten Folie auf einem Gerät zeigt. Es werden Topografieabbildungen sowohl für die Folienoberfläche als auch die Substratoberfläche gezeigt.

Bei vielen Anwendungen ist die Aufbringung und Kontrolle von Folien und Beschichtungen kritisch für die Funktionalität oder Effizienz von Geräten, wie unter anderem in den Bereichen Unterhaltungselektronik, Halbleiter, Optiken und vielen weiteren. Solche fortschrittlichen Geräte erfordern oft eine präzise Charakterisierung der Folientopografie und Schichtdicke, um hohe Qualität und Leistung sicherzustellen.

Unsere vielseitigen und präzisen 3D-Messgeräte und Sensoren basieren auf zerstörungsfreien, berührungslosen, bereichsbasierten optischen Technologien (CSI - Kohärenz-Scaninterferometrie) und können eine große Bandbreite transparenter Oberflächen mit unterschiedlicher Topografie und Schichtdicke messen, von 50 Nanometern bis 150 Mikrometern, über einen Bereich von Mikrometern bis Millimetern.

Mehr Informationen zu unseren Möglichkeiten finden Sie in unseren nachfolgend aufgeführten, zentralen Anwendungslösungen. Kontaktieren Sie uns alternativ, um Ihre Anwendung mit einem Vertriebstechniker zu besprechen.

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