Dimensionsanalyse

ZYGO kann seine Möglichkeiten erweitern, um Sub-Pixel-2D-Messungen aus den gleichen Daten zu ermöglichen, welche zur Darstellung der 3D-Messergebnisse verwendet wurden. Der Benutzer kann darüber entscheiden, entweder die Höhen- oder Intensitätsdaten für diese seitlichen Messungen zu verwenden. Parameter wie Linien- und Lückenbreite, Lochabmessungen und Beziehungen zwischen Merkmalen sind möglich.

ZYGOs 2D-Messlösungen werden nicht nur für laterale Dimensionen eingesetzt, sondern funktionieren auch in Produktions- und Automatisierungsumgebungen. 2D-Messtechnik kann eingesetzt werden, um Merkmale für die Teilausrichtung zu identifizieren und zuverlässige und wiederholbare Messlösungen für die Messung im Produktionsstil zu gewährleisten.

Linienbreite

Da die Technologien und die Präzision innerhalb der Branchen für Wafers, optische Lithografie und Halbleiter immer weiter voranschreiten, muss auch ein Bedarf an zuverlässigen Messlösungen gedeckt werden. Eine übliche Anforderung in diesen Branchen ist die Messung der Linienbreite. 2D-Messlösungen von ZYGO bieten eine hochgradig wiederholbare Lösung für diese Messanwendung. Diese 2D-Messungen der Linienbreite ermöglichen die berührungslose Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle innerhalb dieser Branchen, in denen ein Bedarf an hochwertigen und zuverlässigen Produkten besteht.

Mx-Integration mit Automatisierung und Musterabgleich

Die Mx-Software erlaubt dem Benutzer in Kombination mit dem Cognex® VisionPro™-Softwarepaket, die bekannten Funktionen zur Ausrichtung einer Messung für eine Probe anzuwenden. Diese automatische Messausrichtung ermöglicht zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse bei jeder Probe und für jeden Bediener. Das VisionPro™-Softwarepaket kann verschiedene Funktionen ausführen, welche bei der Automatisierung einer bestimmten Messung helfen.

Die VisionPro™-Software kann verwendet werden, um eine Gruppe von Teilen in einer Halterung auszurichten, indem ein Nullpunktversatz und eine Rotation des Musters auf Grundlage der erkannten Position eines oder mehrerer angelernter Merkmale durchgeführt wird. Das VisionPro™-Softwarepaket kann zudem eine Messung automatisch auf ein bestimmtes Merkmal zentrieren. Darüber hinaus kann VisionPro™ eingesetzt werden, um ein bestimmtes Merkmal zu verbergen und andere Merkmale im Sichtfeld der Messung zu ignorieren.

Form- und Lagetoleranzen

Form- und Lagetoleranzen werden durch 2D-Messdaten ermöglicht.  GD&T-Merkmale, wie etwa die grundlegende laterale Dimensionierung, tatsächliche Position und Rundlaufgenauigkeit, sind ebenfalls vollständig mittels 2D-Messdaten möglich.

Ergebnisse, die üblicherweise mehrere Systeme und Messungen erfordern würden, können allesamt mit einer einzigen 2D-Messung durch ein ZYGO-System erhalten werden.

VisionPro und Cognex sind Warenzeichen oder eingetragene Warenzeichen der Cognex Corporation.